ASTM E 1636-1994 用扩展的逻辑函数分析描述溅射深度分布界面数据的标准规范

作者:标准资料网时间:2024-05-20 05:22:57 浏览:9050 来源:标准资料网

【英文标准名称】:StandardPracticeforAnalyticallyDescribingSputter-Depth-ProfileInterfaceDatabyanExtendedLogisticFunction
【原文标准名称】:用扩展的逻辑函数分析描述溅射深度分布界面数据的标准规范
【标准号】:ASTME1636-1994
【标准状态】:作废
【国别】:美国
【发布日期】:1994
【实施或试行日期】:
【发布单位】:美国材料与试验协会(ASTM)
【起草单位】:ASTM
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:深度;次级离子质谱法SIMS;溅射深度分布数据;规程;界面分布数据;逻辑函数;分布界面数据;溅射;扩展逻辑函数;特性描述;组成分布;扩展逻辑函数;分析
【英文主题词】:
【摘要】:
【中国标准分类号】:A43
【国际标准分类号】:71_040_40
【页数】:
【正文语种】:英语

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